Metrology, inspection and process control for microlithography XVI P. 1 - 4-7 March 2002, Santa Clara, USA
- Författare
- Daniel J. C. Herr
- (Daniel J.C. Herr, chair/editor.)
- Genre
- Ej skönlitteratur, Konferenspublikation, Konferenser
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2002 | USA | 635 sidor. |